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近年來,氧化銦錫靶材在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用日益廣泛,為了確保其質(zhì)量和性能達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求,GB/T 38389-2019標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)運(yùn)而生。本文將深入探討GB/T 38389-2019氧化銦錫靶材化學(xué)分析方法,揭示其中的先進(jìn)技術(shù)和…